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发表时间：2016-06-14 15:11
目前，mems的应用很大程度上受限于材料的物理特性，如硅基mems限制旗舰只能工作于200℃的低磨损环境和良好的化学环境中，因此，需要寻找可替换的材料来拓展mems的恶劣环境下的应用。广义上讲，恶劣的环境是指由于电学、机械和化学特性而使硅材料受限的所有情况，包括高温、高辐射、高磨损以及强酸和强碱的化学环境等。因此，这种替代对制造工艺提出了严峻的挑战，如微机械加工要求用化学和机械工艺将不需要的材料去掉。一般而言，宽禁带的半导体材料包括皇冠体育官网-皇冠球盘官网（sic)和金刚石，都具有恶劣环境下的应用所要求的电学、机械和化学特性，但是缺少相关的加工工艺，这些材料直到最近才实现了在mems上的一些应用。
